超薄太阳能硅片线切割工艺中悬浮液特性研究

• 作者: 任丽 刘晓平 李彦林 王敏花 羊建坤
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬浮液 粘度 pH值 温度
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 324-327
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 3043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2008.03.013

摘要

对硅片线切割工艺中悬浮液特性进行了理论与实验分析,测绘了悬浮液的粘度与温度特性曲线和pH值与温度特性曲线,为硅片的线切割工艺优化提供了理论和实验依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任丽	河北工业大学化工学院	75	1321	20.0	35.0
2	李彦林	河北工业大学信息功能材料研究所	3	51	3.0	3.0
3	羊建坤	河北工业大学信息功能材料研究所	3	51	3.0	3.0
4	刘晓平	河北工业大学信息功能材料研究所	2	42	2.0	2.0
5	王敏花	河北工业大学信息功能材料研究所	2	42	2.0	2.0