三维神经微电极阵列新制作技术研究

• 作者: 吕尊实 周嘉 是慧芳 黄宜平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加工 电镀 微电极阵列 PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 553-555
• 页数: 3页
• 分类号: TM930.5
• 字数: 2015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.004

摘要

尝试了一种低成本的三维微电极阵列微加工的新方法.玻璃划片形成的柱状阵列,经掩膜腐蚀后形成阳模板,再利用PDMS的微复制技术形成阴模板.利用阴模板进行电镀,可以得到三维微电极阵列.制作的铜电极阵列高度约180 μm,为制作更长的神经微电极阵列打下了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周嘉	复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室	25	123	7.0	10.0
2	黄宜平	复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室	39	270	10.0	14.0
3	吕尊实	复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室	1	10	1.0	1.0
4	是慧芳	中国科学院上海技术物理研究所	1	10	1.0	1.0