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摘要:
尝试了一种低成本的三维微电极阵列微加工的新方法.玻璃划片形成的柱状阵列,经掩膜腐蚀后形成阳模板,再利用PDMS的微复制技术形成阴模板.利用阴模板进行电镀,可以得到三维微电极阵列.制作的铜电极阵列高度约180 μm,为制作更长的神经微电极阵列打下了基础.
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内容分析
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文献信息
篇名 三维神经微电极阵列新制作技术研究
来源期刊 传感技术学报 学科 工学
关键词 微加工 电镀 微电极阵列 PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)
年,卷(期) 2008,(4) 所属期刊栏目 MEMS专集
研究方向 页码范围 553-555
页数 3页 分类号 TM930.5
字数 2015字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.004
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 周嘉 复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室 25 123 7.0 10.0
2 黄宜平 复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室 39 270 10.0 14.0
3 吕尊实 复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室 1 10 1.0 1.0
4 是慧芳 中国科学院上海技术物理研究所 1 10 1.0 1.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
微加工
电镀
微电极阵列
PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
月刊
1004-1699
32-1322/TN
大16开
南京市四牌楼2号东南大学
1988
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
相关基金
上海市自然科学基金
英文译名:
官方网址:http://www.lawyee.net/Act/Act_Display.asp?RID=46696
项目类型:面上项目
学科类型:
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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