直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al薄膜结构特性

• 作者: 张具琴 王子建 王海燕 马康
• 来源期刊: 可再生能源
• 学科: 工学
• 关键词: 有机衬底 ZnO:Al 晶化
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 64-68,72
• 页数: 6页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 3096字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5292.2008.04.016

摘要

利用直流磁控溅射法在有机薄膜衬底和普通玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的ZnO:Al薄膜,并分析了氧分压、溅射压强、沉积时间、温度对薄膜结构特性的影响.研究发现,铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜,具有六角纤锌矿结构,ZnO:Al薄膜具有(002)择优取向.在同样的制备条件下,薄膜的晶化在普通玻璃上比在PET衬底上要好,但是在特定的条件下(沉积时间15min),在PET衬底上的要比普通玻璃衬底上的好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海燕	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	62	372	11.0	16.0
2	马康	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	3	31	3.0	3.0
3	王子建	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	2	6	2.0	2.0
4	张具琴	黄河科技大学信息工程学院电子系	18	51	4.0	6.0