先进半导体设备制造技术及趋势

• 作者: 张云 王志越
• 来源期刊: 半导体行业
• 学科: 工学
• 关键词: 设备制造技术 半导体 设备市场 设备技术 国内外 封装 晶圆
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.23
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志越	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	10	2.0	3.0
2	张云	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	12	2.0	2.0