新型复合结构电热微驱动器的研制

• 作者: 丁桂甫 付世 曾文光 王艳 蔡玉丽
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 聚合物 复合结构 电热微驱动器 有限元分析 非硅表面微加工
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 117-120
• 页数: 4页
• 分类号: TN603.5
• 字数: 3823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.05.039

摘要

在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器.采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数.仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移.采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡玉丽	上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室	1	9	1.0	1.0