激光直写技术制备SiO2-TiO2条形光波导工艺研究

• 作者: 刘家骏 曾晓雁 李爱魁 王泽敏
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 条形光波导 激光直写 SiO2-TiO2 传输损耗
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 激光材料和光学元件
• 页码范围: 317-319
• 页数: 3页
• 分类号: TN252
• 字数: 2314字
• 语种: 中文

摘要

为了研究激光直写技术在光波导制备中的应用,采用波长为1.07μm的连续光纤激光器制备了硅基SiO2-TiO2条形光波导.探讨了激光直写技术制备条形光波导的原理,研究了激光参数对条形光波导宽度的影响,最后测试了光波导的通光模场以及光传输损耗.结果表明,条形光波导的宽度随着激光功率密度的增加而增大.当激光扫描速率在0.1mm/s～1mm/s范围内变化时,条形光波导的宽度随着激光扫描速率的增加而降低;高于1mm/s时对波导宽度无明显影响.在优化的工艺参数下,激光直写得到的条形波导的厚度约为0.4μm,宽度为120μm,整条波导非常均匀、准直性很好,对于1550nm波长的光呈多模传输,最小传输损耗为1.7dB/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾晓雁	华中科技大学武汉光电国家实验室	144	2006	25.0	36.0
2	李爱魁	华中科技大学武汉光电国家实验室	9	194	6.0	9.0
3	王泽敏	华中科技大学武汉光电国家实验室	23	293	10.0	17.0
4	刘家骏	华中科技大学武汉光电国家实验室	4	18	3.0	4.0