仿壁虎微米阵列的力加工及其粘附作用分析

• 作者: 王辉静
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 仿壁虎粘附阵列 微米阵列 粘附性能 接触机理
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 162-165
• 页数: 4页
• 分类号: TB17|TB324
• 字数: 2087字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.03.008

摘要

简要阐述了以MEMS加工技术制备柔性仿壁虎微米阵列的方法,进行实验装置以及实验方法的设计,利用所设计的粘附力测量装置,观测具有不同几何参数的微米阵列样本在不同条件下的粘附效果.主要比较了微米纤毛长度不同、其他几何参数相同的阵列样本与接触表面间的粘附效果;不同面积的阵列样本与接触表面间的粘附效果;微米阵列与不同材料接触表面间的粘附效果.对实验结果进行了讨论分析,得出三点实验结论.目的是通过实验现象,研究和发现人工合成阵列的接触粘附机理,进行合理的参数设计,从而加工出高性能仿壁虎粘附阵列.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辉静	深圳信息职业技术学院计算机应用系	27	42	4.0	5.0