多倍程激光干涉仪光路几何特性分析

• 作者: 卢明臻 崔建军 施玉书 杜华 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 光学倍程 干涉仪 纳米计量 几何特性
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3222字
• 语种: 中文

摘要

针对纳米计量高分辨力的要求,应用光学倍程法设计了一套基于Michelson激光干涉仪原型的多倍程激光干涉系统.该系统光源由保偏光纤直接导入,采用共光路、立体空间布局设计.通过建立模型分析该干涉系统的几何特性,得出移动镜偏转对该系统带来的影响可以得到有效补偿,因而光路具有很好的稳定性.出射的参考光与测量光始终保持平行,便于干涉系统光路的整体布局与信号接收,同时易于光路的调节从而获得对比度高、信噪比好的干涉信号.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田	中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所	93	567	11.0	19.0
2	崔建军	中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所	33	122	6.0	8.0
3	卢明臻	中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所	16	97	6.0	8.0
4	杜华	中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所	33	201	8.0	12.0
5	施玉书	中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所	35	121	5.0	8.0