多束电子束扫描偏转线圈电磁场的数值分析

• 作者: 左从进 王欣 王西昌 赵海燕
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束扫描 多束流 多极靴结构 ANSYS 电磁场分析
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 数字技术与机械加工工艺装备
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TM351
• 字数: 2723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2008.10.005

摘要

多极靴结构的扫描偏转线圈可以实现电子束的精确偏转控制,产生多束流.由于其电磁场的分布对电子束流的偏转效果影响很大,因此需要进行深入的研究.本文应用有限元数值分析软件ANSYS对多极靴结构的电子束扫描偏转线圈进行了三维静态电磁场分析,通过分析得到不同极靴结构的线圈电磁场的分布结果,并对部分计算结果进行试验验证.这种分析方法有助于优化线圈的结构设计,提高线圈的制作精度,并能有效地控制线圈体积,减小材料浪费.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵海燕	清华大学机械工程系	89	2763	25.0	50.0
2	王欣	清华大学机械工程系	34	529	10.0	22.0
3	王西昌	北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室	13	151	6.0	12.0
4	左从进	北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室	19	188	8.0	13.0