决策表在机械手路径规划中的应用

• 作者: 葛宁
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 路径规划 机械手 版库 掩模传输系统 决策表
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: TP241
• 字数: 3020字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.07.009

摘要

机械手路径规划是掩模传输系统的一个重要组成部分.掩模传输系统的主要作用是存贮掩模版,对掩模版进行传输、精确定位以及交接版.机械手路径规划在掩模传输系统中,用于对机械手、版库等移动组件的移动路径进行规划,防止发生碰撞,保证人员、设备以及掩模版的安全.机械手的移动路径采用决策表法进行规划.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛宁		2	0	0.0	0.0