柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能

• 作者: 于军胜 林慧 王娜娜 蒋亚东 黄春华
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有机电致发光器件 柔性基板 氧化铟锡薄膜 直流磁控溅射
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 967-972
• 页数: 6页
• 分类号: TN383.1|TN873.3
• 字数: 4065字
• 语种: 中文

摘要

在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)柔性衬底上采用直流磁控溅射技术制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了衬底温度、溅射功率和溅射压强等工艺条件对薄膜光电性能的影响,并利用原子力显微镜(AFM)表征了衬底及ITO薄膜的表面形貌.结果表明,在PET衬底温度50 ℃、溅射功率100 W和溅射压强2.66×10-1 Pa的条件下,可以得到低方阻(50 Ω/□)和高透过率(＞90%)的透明导电薄膜.以此柔性ITO衬底为阳极,制备了结构为PET/ITO/NPB/Alq3/Mg:Ag的柔性有机电致发光器件,在驱动电压为13 V时,器件的发光亮度达到了2 834 cd/m2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	于军胜	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	72	436	10.0	15.0
3	林慧	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	23	128	7.0	10.0
4	黄春华	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	6	28	4.0	5.0
5	王娜娜	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	15	3.0	3.0