基于二极管泵浦Nd:YAG激光器的紫外微加工系统研制

• 作者: 吴边 张少飞 王首长 胡爱兰 董云升 郭强
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 微加工系统 紫外激光 XY振镜 F-Theta平场镜
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 478-482
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 1929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2008.04.017

摘要

自行研制紫外微加工系统,系统有效工作范围120 mm×120 mm,最小加工线宽80 μm,系统操作简单、运行稳定高效.实验中完成对Nd:YAG紫外激光器、XY扫描振镜以及F-Theta平场透镜设计.实现波长355 nm紫外激光最高平均功率2.13 W稳定输出,1 h内输出功率波动小于7%;XY振镜最大扫描角度+28°,线性响应速度0.35～0.5 ms;F-Theta视场角为±25°,有效焦距为250 mm.最后对系统存在的问题进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭强	中国科学院安徽光学精密机械研究所	38	151	7.0	9.0
2	吴边	中国科学院安徽光学精密机械研究所	30	240	7.0	15.0
3	董云升	中国科学院安徽光学精密机械研究所	14	38	4.0	6.0
4	张少飞	中国科学院安徽光学精密机械研究所	4	29	3.0	4.0
5	王首长	中国科学院安徽光学精密机械研究所	6	31	3.0	5.0
6	胡爱兰	中国科学院安徽光学精密机械研究所	3	14	3.0	3.0