CrCO-Ti保护薄膜的制备、结构及机械性能

• 作者: 胡作启
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 保护薄膜 复合薄膜 氧化物
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TB303|TB34|TB43
• 字数: 2981字
• 语种: 中文

摘要

用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了CrCO-Ti薄膜,其结构、耐磨性和表面能分别用XRD(Philips X-pert)、Pinon-Disc摩擦磨损测试仪(Tribometer Wear Tester)和表面接触角度仪(Surface contact Angle Goniometer)分析,研究了在氮气气氛不同退火温度的条件下,CrCO-Ti保护薄膜的结构变化,并得出结论:非平衡脉冲直流磁控溅射沉积的CrCO-Ti保护薄膜是类非晶态的,其耐磨能力达到10-8 mm3/Nm,它们的表面能低,经过退火处理后,其结构发生变化,耐磨能力下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡作启	华中科技大学电子科学与技术系	17	60	5.0	7.0