单质量块的单轴集成惯性测量器件的设计

• 作者: 刘俊 石云波 马宗敏
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单轴集成 建模 仿真 版图 处理电路
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 600-603
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2145字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.017

摘要

介绍了一种单质量块的单轴集成惯性测量器件的结构,提出一种可以利用一个敏感头同时测量某一方向加速度和陀螺信号的集成测量结构形式;同时建立了单轴集成测量器件的模型,并运用计算机辅助软件对其进行仿真,对惯性测量器件的加速度信号和陀螺信号的产生及仿真进行了阐述;最后,为了保证器件有高的成品率,对测量器件的版图进行了优化设计和修改;为了保证高的检测精度,还就测量器件的后续处理电路进行了研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石云波	中北大学电子测试技术国家重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	108	610	14.0	20.0
2	马宗敏	中北大学电子测试技术国家重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	16	19	2.0	3.0