高质量LiGaO2晶体的提拉法生长及表征

• 作者: 周圣明 林辉 滕浩 王军 黄涛华
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 提拉法 LiGaO2 化学腐蚀 透过光谱 AFM
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 524-527,523
• 页数: 5页
• 分类号: O78
• 字数: 2393字
• 语种: 中文

摘要

采用提拉法成功地生长了高质量的LiGaO2单晶体,生长过程中没有观察到挥发现象.通过四晶X射线衍射、化学腐蚀、光学显微、透过光谱以及原子力显微镜对晶体的质量进行了表征.结果表明:晶体中无包裹物及气泡,具有很高的质量,(001)面晶片的摇摆曲线半高宽仅为16.2 arcsec,正交的(001)、(100)及(010)三个晶面具有不同的腐蚀形貌,其位错密度均低于104/cm2;LiGaO2晶体的吸收边约为220 nm;化学机械抛光后的晶片表面非常光滑,其均方根粗糙度仅为0.1 nm(5×5μm2).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王军	中国科学院上海光学精密机械研究所	176	3989	26.0	60.0
2	周圣明	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	298	9.0	16.0
3	黄涛华	中国科学院上海光学精密机械研究所	7	37	3.0	6.0
7	林辉	中国科学院上海光学精密机械研究所	25	276	11.0	16.0
11	滕浩	中国科学院上海光学精密机械研究所	29	96	5.0	9.0