谐振式微机械加速度计设计的关键技术

• 作者: 任杰 樊尚春 王路达
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微机械加速度计 谐振器 建模
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 593-595
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.12|TH824.4
• 字数: 2334字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.015

摘要

谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点.分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,建立了第一级敏感结构、杠杆机构和第二级敏感结构的数学模型,指出了实现高灵敏度加速度测量的关键技术在于支撑梁、质量块、谐振器和杠杆机构的设计.提出了一种谐振式微机械加速度计结构,进行了结构的优化设计和仿真计算,得出的性能指标:谐振频率98 858 Hz,Q值673.9,灵敏度24.52 Hz/gn.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器学院	161	841	15.0	21.0
2	任杰	北京航空航天大学仪器学院	10	65	5.0	8.0
3	王路达	北京航空航天大学仪器学院	3	17	1.0	3.0