采用FDTD法计算复杂微转子所受光力和光力矩

• 作者: 翟晓敏 黄文浩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微转子 光镊 光力矩 时域有限差分法
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 778-783
• 页数: 6页
• 分类号: Q631|TN249
• 字数: 653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.05.004

摘要

微转子是微机电系统(MEMS)的一个重要组成部分.为了能够设计、驱动具有复杂形貌的微转子,对其所受的光驱动力矩的光波动模型计算方法进行了研究.使用时域有限差分法分析微转子在光阱中散射光场的电磁场量,根据麦克斯韦尔力学张量方程得到微转子表面所受的力.最后,应用牛顿方程计算出其相应的旋转力矩和转速等信息.用基于此方法编写的模块化Matlab程序分析计算了一个本文设计制造的微转子,并与实验进行了比较,结果与200 r/min相符,表明此方法基本满足复杂形貌微转子驱动力计算要求,对设计微转子有着很好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄文浩	中国科学技术大学精密仪器与精密机械系	88	768	14.0	23.0
2	翟晓敏	中国科学技术大学精密仪器与精密机械系	3	8	2.0	2.0