微米级形貌修饰的硅材料表面摩擦特性的实验研究

• 作者: 刘莹 张向军 温诗铸 董云开
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 摩擦力 表面形貌 滑动速度
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 2817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2008.01.001

摘要

微机电系统(MEMS)可动部件间的摩擦特性是影响其性能和可靠性的重要因素之一.为了研究微机械构件间的摩擦行为,设计了一种面-面接触的应变式微摩擦测试仪,以模拟MEMS器件的真实工况.研究了不同微米级条纹形貌硅试样的摩擦特性,结果表明,微尺度下速度对摩擦因数有很大影响;形貌参数存在优选值以有效减少速度的影响和摩擦因数等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹		153	1424	18.0	30.0
2	温诗铸	清华大学摩擦学国家重点实验室	156	3364	28.0	50.0
3	张向军	清华大学摩擦学国家重点实验室	49	266	10.0	14.0
4	董云开	清华大学摩擦学国家重点实验室	6	91	4.0	6.0