电感耦合式等离子清洗系统及其在微波管制造中的应用

• 作者: 张吉峰 王承章
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电感耦合式 等离子体 清洗
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TN124
• 字数: 3711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2008.01.012

摘要

介绍了电感耦合式等离子清洗系统的原理、结构、组成,以一台已经试制成功的清洗设备为例,介绍了典型设备的系统构成、技术指标以及应用于微波管制造过程中所收到的良好效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张吉峰		13	4	1.0	1.0
2	王承章		5	3	1.0	1.0