CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真

• 作者: 杨振川 王佳 钱梁 闫桂珍
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 陀螺电学模型 CMOS-MEMS体硅陀螺 工艺误差 系统仿真
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 563-566
• 页数: 4页
• 分类号: V241.5
• 字数: 2446字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.007

摘要

体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求.通过建立CMOS-MEMS体硅陀螺的等效电学模型,实现了对CMOS-MEMS体硅陀螺的系统级仿真.通过系统仿真,陀螺的结构部分、电路部分、集成产生的寄生效应以及工艺误差得到了有效的分析,从而能够了解它们相互之间的影响,更好的指导CMOS-MEMS体硅集成器件的设计.