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三框架电容式硅微机械陀螺动力学分析
三框架电容式硅微机械陀螺动力学分析
作者:
刘俊
李锦明
郭慧芳
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
陀螺
电容
框架
动力学分析
摘要:
为了解决双框架陀螺在加工中不可避免的误差,提出了三框架电容式微机械陀螺系统.该系统由3个框架(即3个质量块)组成.采用静电差分驱动方式,梳状义指电容,多个柔性杆没汁使得该结构从理论分析和加工误差上解决了耦合现象.同时,通过提高巾间框架的质量,使得陀螺的灵敏度大大提高.介绍了该三框架电容式微机械陀螺仪的工作原理,给出了所设计陀螺动力学方程的详尽推导和MAT-LAB仿真分析.
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品质因子
静电激励-电容检测
机械激励-电容检测
一种三框架电容式硅微机械陀螺结构设计与仿真
mems
陀螺
电容
框架
内容分析
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文献信息
篇名
三框架电容式硅微机械陀螺动力学分析
来源期刊
传感器与微系统
学科
交通运输
关键词
陀螺
电容
框架
动力学分析
年,卷(期)
2008,(5)
所属期刊栏目
研究与探讨
研究方向
页码范围
24-26
页数
3页
分类号
U666.1
字数
1561字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-9787.2008.05.008
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘俊
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
181
1162
17.0
24.0
2
李锦明
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
75
469
11.0
16.0
6
郭慧芳
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
3
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2.0
3.0
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引证文献(0)
二级引证文献(1)
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节点文献
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框架
动力学分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
传感器与微系统
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-9787
CN:
23-1537/TN
开本:
大16开
出版地:
哈尔滨市南岗区一曼街29号
邮发代号:
14-203
创刊时间:
1982
语种:
chi
出版文献量(篇)
9750
总下载数(次)
43
总被引数(次)
66438
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