磁控溅射Cr/C镀层耐热性能研究

• 作者: 严少平 白力静 苏阳 蒋百灵 龙艳妮
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 磁控溅射 Cr/C镀层 热处理 耐热性能
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 测试与表征
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.32|O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2008.11.009

摘要

在空气炉加热环境下于不同温度对采用磁控溅射离子镀技术制备Cr/C镀层样品进行加热保温处理.研究了不同加热温度下镀层的相结构、硬度和结合力的变化,考察了Cr/C镀层的耐热性能.结果表明:在600℃以下,Cr/C镀层保持了高硬度和强结合力的性能,表明镀层具有良好的耐热性能;镀层受热过程中生成了致密的铬氧化物及铬碳化合物,起到阻碍了氧原子向内层扩散的效果,使镀层氧化失稳的温度大大提高,从而保证了良好的耐热性能;处理温度达800℃后,镀层硬度和结合力明显下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料科学与工程学院	241	5240	40.0	64.0
2	白力静	西安理工大学材料科学与工程学院	55	796	14.0	27.0
3	严少平	西安理工大学材料科学与工程学院	21	70	5.0	7.0
7	苏阳	西安理工大学材料科学与工程学院	7	40	4.0	6.0
8	龙艳妮	西安理工大学材料科学与工程学院	3	7	2.0	2.0