离子注入机大行程垂直扫描系统的研制

• 作者: 肖仁耀 许波涛
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直扫描 气浮轴承 差压抽气 直线电机
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 离子束技术
• 页码范围: 11-13
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2596字
• 语种: 中文

摘要

采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法.经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖仁耀	中国电子科技集团公司第四十八研究所	7	8	2.0	2.0
2	许波涛	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	0	0.0	0.0