辅助交变低气压-温度梯度微细电铸技术

• 作者: 明平美 曾永彬 朱荻 胡洋洋
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 机械制造工艺与设备 微细电铸 交变低气压 温度梯度 高深宽比
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 746-751
• 页数: 6页
• 分类号: TG662
• 字数: 3479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1093.2008.06.021

摘要

具有超深或高深宽(径)比(HAR)微结构特征的高质量电铸,是制造金属微机械器件和半导体通孔金属化的技术关键之一.开发了一种新的电铸技术:辅助交变低气压-温度梯度微细电铸技术,并介绍了该技术的基础理论,分析了其作用机理,研制了实施该技术的专用装置,进行了微细电铸试验.分析了微细电铸镍元部件的形貌征及其影响因素.研究结果表明,与常规电铸工艺相比,采用辅助交变低气压微细电铸工艺,能显著减少电铸件的气孔缺陷,增强电充填深铸能力,敢善形貌质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学机电学院	237	3580	30.0	43.0
2	曾永彬	南京航空航天大学机电学院	54	480	14.0	18.0
3	明平美	河南理工大学机械与动力工程学院	39	222	9.0	13.0
7	胡洋洋	南京航空航天大学机电学院	16	221	9.0	14.0