一种半导体用石英玻璃棒的生产方法

• 作者: 孙丽丽
• 来源期刊: 建筑玻璃与工业玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 石英玻璃 高频等离子 中频炉
• 年，卷（期）: jzblygybl_2008,（1）
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.114

摘要

本文介绍了一种半导体用石英玻璃棒的制备工艺，即用高频等离子制坨-中频炉无接触拉棒二步法工艺，该工艺制备出的石英玻璃棒具有纯度高、羟基含量低、尺寸精度高、外观质量及良好的耐温性能等特点，可满足半导体制造工业高温扩散和氧化用大型石英承载器的质量要求，产品性能达到国际同类产品水平。

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序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙丽丽		7	5	2.0	2.0