多晶硅生产的节能减排措施

• 作者: 苏维
• 来源期刊: 有色金属加工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 氯硅烷 回收 节能减排
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 环境保护
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.1
• 字数: 3052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6795.2008.02.019

摘要

针对多晶硅生产中氯硅烷副产物的特性,采用先进的回收技术,将大量副产物转化为生产原料,大大降低了生产成本,同时减少了污染物排放量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏维		3	32	2.0	3.0