宽度比对组合沟道结构牺牲层腐蚀特性的影响

• 作者: 吴昌聚 王跃林 金仲和
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 组合沟道 宽度比 腐蚀速率
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2180-2186
• 页数: 7页
• 分类号: TN304.12
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.11.020

摘要

对宽度比对组合沟道结构的牺牲层腐蚀特性的影响进行了研究.从理论和实验两个方面,对不同宽度比的腐蚀特性进行了比较.结果表明,宽度比对窄-宽组合结构和宽-窄组合结构的影响不同.对于窄-宽组合结构,腐蚀过程不仅与宽度比有关,而且与沟道宽度有关.对于宽度比相同的结构,每个阶段的腐蚀速率和腐蚀前端浓度非常接近,每个阶段的腐蚀时间却随沟道宽度的增加而增长.但是,如果宽沟道的长度比较长,总的腐蚀时间非常接近.对于宽-窄组合沟道结构,如果宽度比相同,则包括所需腐蚀时间在内的所有过程完全相同.每个阶段结束时的腐蚀速率和腐蚀前端的浓度随着宽度比的增大而增大,但是总的腐蚀时间随宽度比的增大而下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息与电子工程系	144	1047	18.0	25.0
2	吴昌聚	浙江大学信息与电子工程系	18	111	6.0	10.0
3	王跃林	浙江大学信息与电子工程系	39	434	11.0	19.0