C/C多层类金刚石薄膜的热稳定性研究

• 作者: 孙鸿 沟引宁 黄楠
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁过滤直流阴极真空弧源 C/C多层类金刚石薄膜 热稳定性
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 557-560
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2924字
• 语种: 中文

摘要

采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术,通过改变基体偏压,在单晶Si片和0Cr19Ni9基体表面制备了C/C多层类金刚石薄膜.为了考察多层膜的热稳定性,对薄膜进行了300~C及400~C退火处理,采用x射线光电子能谱、硬度实验及摩擦磨损性能测试分析了退火对薄膜结构及性能的影响.结果表明在400~C范围内多层膜具有较高的热稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄楠	西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室四川省人工器官表面工程重点实验室	160	1147	19.0	27.0
2	孙鸿	西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室四川省人工器官表面工程重点实验室	46	334	10.0	15.0
3	沟引宁	西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室四川省人工器官表面工程重点实验室	3	22	3.0	3.0