新型MEMS热流陀螺的制造

• 作者: 吕树海 徐永青 徐淑静 徐爱东 杨拥军 罗蓉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 敏感元件 热流体 热流陀螺
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 248-251
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1459字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.015

摘要

MEMS热流陀螺是一种基于热流体理论的新型陀螺.该器件利用封闭腔体内的气体作为敏感元件,代替了常规MEMS陀螺的复杂振动结构和悬挂质量块,具有抗大冲击、体积小、重量轻、成本低、可批量化生产等优点.本研究的目的是为了验证MEMS热流陀螺的可行性,主要介绍该器件的研制过程,包括流体场仿真和工艺实现.最后得到了MEMS热流陀螺及其输出曲线,测试结果很好地验证了基于热流体理论的MEMS热流陀螺的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐永青	中国电子集团公司第十三研究所	11	118	5.0	10.0
2	杨拥军	中国电子集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
3	徐爱东	中国电子集团公司第十三研究所	9	62	4.0	7.0
4	徐淑静	中国电子集团公司第十三研究所	11	56	5.0	6.0
5	罗蓉	中国电子集团公司第十三研究所	8	16	3.0	3.0
6	吕树海	中国电子集团公司第十三研究所	3	16	2.0	3.0