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摘要:
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层板喷注器光刻工艺技术研究
液体火箭发动机
层板喷注器
光刻
冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制
压印光刻
精密定位工作台
柔性结构
精度
一种新型陶瓷机械喷刻工艺与传统手工雕刻工艺的比较
传统手工雕刻
新型陶瓷喷刻
工艺
比较
红木雕刻工艺的文化传承
红木雕刻工艺
文化传承
发展现状
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 光刻工艺面临量测挑战
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2008,(6) 所属期刊栏目 封装与测试
研究方向 页码范围 38-39
页数 2页 分类号
字数 1392字 语种 中文
DOI
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
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