射频薄膜体声波谐振器的研制和分析

• 作者: 乔东海 李俊红 汤亮 郝震宏
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器 振荡器 滤波器 复合膜 氧化锌
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2226-2231
• 页数: 6页
• 分类号: TN015
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.11.027

摘要

研制了一种采用氮化硅/二氧化硅/氮化硅复合膜作为支持薄膜的高Q薄膜体声波谐振器.当采用单层氮化硅膜或二氧化硅膜作为谐振器的支持薄膜时,由于残余应力的作用,释放完的薄膜往往会出现褶皱的现象,极大地降低了薄膜体声波谐振器的Q值;上述复合膜结构有效地解决了这个问题.采用直流磁控溅射法制备了氧化锌压电薄膜,X射线衍射结果表明制备的氧化锌薄膜具有很好的c轴择优取向,意味着氧化锌薄膜具有较好的压电性.S参数测试结果表明该薄膜体声波谐振器在0.4～2.6GHz的频率范围内具有3个明显的谐振模式,计算了这些谐振模式的串联谐振频率、并联谐振频率、有效机电耦合系数和Q值.在这3个模式中,第3个谐波模式的工作频率约为2.4GHz,具有最高的Q值(约为500),可用来制备2.4GHz的低相噪射频振荡源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊红	中国科学院声学研究所声学微机电实验室	30	72	5.0	8.0
2	汤亮	中国科学院声学研究所声学微机电实验室	13	88	6.0	9.0
3	郝震宏	中国科学院声学研究所声学微机电实验室	9	101	7.0	9.0
4	乔东海	中国科学院声学研究所声学微机电实验室	25	166	8.0	11.0