硅基螺旋电感模型及Q值优化

• 作者: 徐元森 朱明华 高丹
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: 电感 π模型 Q值 谐振 衬底损耗
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 25-27,30
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 2481字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2008.01.009

摘要

分析了硅基螺旋电感的集总π模型,讨论了高频下衬底对Q值的影响,并用Matlab仿真了Q值随几何尺寸改变而变化的情况.对于0.35μm CMOS工艺,铜制电感的Q值比同等条件下铝制电感高38.5%,另外增加连线金属的厚度可以有效提高Q值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高丹	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	21	107	6.0	9.0
2	朱明华	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	13	270	6.0	13.0
3	徐元森	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	20	176	8.0	12.0