基于等厚干涉原理的圆度误差测量方法

• 作者: 吴君君 宋伟
• 来源期刊: 燕山大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 圆度误差 等厚干涉 CCD
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 应用数学与物理
• 页码范围: 91-94
• 页数: 4页
• 分类号: TG83
• 字数: 1863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-791X.2008.01.020

摘要

提出了一种基于等厚干涉和CCD自动测量圆度误差的新方法.阐述了利用等厚干涉,通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的测量原理.采用最小二乘圆法对测量到的数据进行圆度误差评定,测量结果表明,新方法测量迅速、精确度高.该测量方法可以实现圆度误差的实时在线准确测量,适用与高精度加工工件的进一步精确测量,具有较广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋伟	燕山大学理学院	10	13	2.0	3.0
2	吴君君	燕山大学理学院	4	7	2.0	2.0