音叉振动式微机械陀螺弹性梁的研究

• 作者: 刘广军 刘钊 姜涛 文永蓬 王安麟
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺 微弹性梁 刚度 优化 健壮性
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 1274-1279
• 页数: 6页
• 分类号: TP3
• 字数: 4337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3772/j.issn.1002-0470.2008.12.011

摘要

以一种音叉振动式微机械陀螺为研究对象,建立了四自由度微机械陀螺动力学模型,重点分析了驱动微弹性梁和检测微弹性梁刚度较大方向的微弹性系数对微机械陀螺动力学性能的影响.设计了三段检测梁和两段驱动梁并推导出其微弹性系数公式,建立了微弹性梁的评价函数,通过实例解析对微机械陀螺动力学性能进行了优化.结果表明:优化后的微机械陀螺具有较好的健壮性和较高的灵敏度.此研究结果适用于音叉式微机械陀螺,而且对其它MEMS器件的设计具有重要的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘钊	同济大学机械工程学院	98	616	14.0	21.0
2	刘广军	同济大学机械工程学院	31	106	6.0	8.0
3	王安麟	同济大学机械工程学院	114	583	12.0	16.0
4	姜涛	同济大学机械工程学院	59	270	10.0	13.0
5	文永蓬	同济大学机械工程学院	7	21	3.0	4.0