大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验

• 作者: 张学军 张忠玉 薛栋林 郑立功
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 凸非球面镜 碳化硅反射镜 零位检验 补偿器设计
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2491-2496
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TQL71.6
• 字数: 2333字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.12.028

摘要

为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验,研究了无像差点法以及补偿检验法方案.经过比较优选,确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器,设计精度为PV:0.008 2λ,RMS:0.002 9λ(λ=632.8nm).采用会聚光束,使用大口径数字干涉仪进行凸非球面正面检测,最终检测结果为0.022λ(RMS).所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性,设计结果也可用于同类型大口径凸非球面检验用补偿器的设计.采用该方法提高了凸非球面检测精度,并且在凸非球面镜的材料选择、结构设计、支撑方式等方面提供了更多的优化空间,为新型光学材料在凸非球面反射镜的应用奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	124	1634	25.0	33.0
2	郑立功	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	39	386	12.0	19.0
3	张忠玉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	23	386	11.0	19.0
4	薛栋林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	29	237	7.0	15.0