EFAB工艺关键技术评述

• 作者: 王晓霞
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: EFAB 微机电系统 微结构 微加工
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 5-7,15
• 页数: 4页
• 分类号: TQ153.4
• 字数: 2226字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.08.002

摘要

EFAB技术可实现真三维金属微结构器件的快速、自动化、批量制造,是微加工领域一项重大的突破.介绍了EFAB技术原理,并对其加工设备、分层技术、实时掩模、过程监控等关键技术进行了剖析.通过与其他微加工技术对比,揭示其在微加工技术群中的优越性,给出了应用实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓霞		23	34	3.0	5.0