几种薄膜涂层硬度测试方法的比较

• 作者: 杨光 葛志宏
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 显微硬度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 85-87
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2260字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2008.02.031

摘要

对薄膜涂层而言,硬度是定量分析其质量的基本指标.硬度的测试方法很多,所用测试方法不同,导致测试结果迥异.系统介绍了表面薄膜涂层硬度的几种测试方法,并对各方法的特点和适用范围进行了对比和评定.经对比可知:测试涂层的本征硬度,采用精确绘Meyer图,由公式法求得涂层本征硬度是最便捷、最准确、最科学的方法之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨光		4	28	2.0	4.0
2	葛志宏		1	22	1.0	1.0