MEMS周期运动测试中频闪成像与运动激励的同步控制

• 作者: 刘一 孙彬 胡小唐 胡晓东
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS测试 频闪成像 运动激励 同步控制
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1174-1177
• 页数: 4页
• 分类号: TH133.21
• 字数: 3147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.07.019

摘要

微结构运动测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分.由于MEMS器件中微结构的运动频率较高,频闪成像法得到了广泛的应用.本文针对静电型MEMS周期运动测试的要求,设计并研制了一种基于FPGA的频闪成像和运动激励同步控制系统,用于MEMS器件的周期运动激励和微结构高速周期运动过程中清晰图像的获取.实验表明,频闪照明的最小脉冲宽度为10 ns,运动相位的调整间隔小于3.75°,能够满足周期运动频率为1 MHz微结构运动测试的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	胡晓东	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	86	712	15.0	23.0
3	刘一	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	6	10	2.0	3.0
4	孙彬	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	9	2.0	3.0