从MEMS到NEMS进程中的技术思考

• 作者: 夏晓媛 张志祥 李昕欣
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 纳电子机械系统 nm尺度效应
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 专家论坛
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 5042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.01.002

摘要

回顾和概括了MEMS机电器件进入μm/nm尺度后解决的几个件发展的典型事例进行分析,对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定.分析目前机电器件走向nm尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题.对机电器件从微到纳的发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣		15	139	7.0	11.0
2	夏晓媛		1	7	1.0	1.0
3	张志祥		1	7	1.0	1.0