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测量计算金属-半导体接触电阻率的方法
测量计算金属-半导体接触电阻率的方法
作者:
李鸿渐
石瑛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
金属-半导体接触
接触电阻率
传输线模型
摘要:
如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要.介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳.综合多种因素考虑,认为圆点传输线模型是一种较好的测量金属半导体接触电阻率的方法.
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文献信息
篇名
测量计算金属-半导体接触电阻率的方法
来源期刊
半导体技术
学科
工学
关键词
金属-半导体接触
接触电阻率
传输线模型
年,卷(期)
2008,(2)
所属期刊栏目
封装、测试与设备
研究方向
页码范围
155-159
页数
5页
分类号
TN304.07|TN305.93
字数
3198字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1003-353X.2008.02.017
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
石瑛
武汉大学物理技术与科学学院
16
128
7.0
11.0
2
李鸿渐
武汉大学物理技术与科学学院
5
61
2.0
5.0
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引文网络
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二级引证文献(1)
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节点文献
金属-半导体接触
接触电阻率
传输线模型
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体技术
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1003-353X
CN:
13-1109/TN
开本:
大16开
出版地:
石家庄179信箱46分箱
邮发代号:
18-65
创刊时间:
1976
语种:
chi
出版文献量(篇)
5044
总下载数(次)
38
总被引数(次)
24788
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
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学科类型:
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