测量计算金属-半导体接触电阻率的方法

• 作者: 李鸿渐 石瑛
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金属-半导体接触 接触电阻率 传输线模型
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 封装、测试与设备
• 页码范围: 155-159
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.07|TN305.93
• 字数: 3198字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.02.017

摘要

如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要.介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳.综合多种因素考虑,认为圆点传输线模型是一种较好的测量金属半导体接触电阻率的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石瑛	武汉大学物理技术与科学学院	16	128	7.0	11.0
2	李鸿渐	武汉大学物理技术与科学学院	5	61	2.0	5.0