XPS对多层膜中单层膜厚的测定

• 作者: 徐勇军 李永梅 李秀平 杨晓西 罗列
• 来源期刊: 分析测试学报
• 学科: 化学
• 关键词: X射线光电子能谱(XPS) 纳米多层膜 单层膜 厚度
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 1005-1007
• 页数: 3页
• 分类号: O657.62|O411
• 字数: 2359字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4957.2008.09.024

摘要

依据XPS的测量信号与能量损失有一定定量关系的原理,利用数理分析方法,推导数学模型进行多层膜中单层膜厚的计算,该方法是一种测量总膜厚小于10 nm的单层膜厚的非破坏性的方法,具有较高的准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐勇军	东莞理工学院化学生物工程系	53	286	10.0	13.0
2	李秀平	东莞理工学院化学生物工程系	28	82	5.0	8.0
3	罗列	东莞理工学院化学生物工程系	4	8	1.0	2.0
4	杨晓西	东莞理工学院化学生物工程系	68	1012	18.0	29.0
5	李永梅	东莞理工学院化学生物工程系	15	59	5.0	7.0