空心阴极放电的粒子模拟研究

• 作者: 丁可 施芸城 邹彬 陆彦钧 韩敬
• 来源期刊: 江西科学
• 关键词: 空心阴极放电 数值模拟 粒子模拟
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 208-211
• 页数: 4页
• 分类号: O462
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3679.2008.02.009

摘要

应用粒子模拟软件对空心阴极放电进行粒子模拟,得到放电稳定状态时的电势分布和带电粒子的密度分布.利用模拟结果研究了放电电压为-800 V,气压为1 Torr,基板偏压为-250 V和-400 V放电条件下的空心阴极放电特性.结果表明,放电中存在空心阴极效应,放电时的等离子体区在阴极管的中心轴附近,且改变基板偏压对电子密度、粒子密度的空间分布有所影响,随着基板负偏压增加更有利于沉积均匀致密的薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹彬	东华大学理学院	2	12	2.0	2.0
2	施芸城	东华大学理学院	21	92	6.0	9.0
3	陆彦钧	东华大学理学院	4	18	3.0	4.0
4	韩敬	东华大学理学院	7	34	3.0	5.0
5	丁可	东华大学理学院	10	42	4.0	6.0