原文服务方: 江西科学       
摘要:
应用粒子模拟软件对空心阴极放电进行粒子模拟,得到放电稳定状态时的电势分布和带电粒子的密度分布.利用模拟结果研究了放电电压为-800 V,气压为1 Torr,基板偏压为-250 V和-400 V放电条件下的空心阴极放电特性.结果表明,放电中存在空心阴极效应,放电时的等离子体区在阴极管的中心轴附近,且改变基板偏压对电子密度、粒子密度的空间分布有所影响,随着基板负偏压增加更有利于沉积均匀致密的薄膜.
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文献信息
篇名 空心阴极放电的粒子模拟研究
来源期刊 江西科学 学科
关键词 空心阴极放电 数值模拟 粒子模拟
年,卷(期) 2008,(2) 所属期刊栏目 研究报告
研究方向 页码范围 208-211
页数 4页 分类号 O462
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-3679.2008.02.009
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 邹彬 东华大学理学院 2 12 2.0 2.0
2 施芸城 东华大学理学院 21 92 6.0 9.0
3 陆彦钧 东华大学理学院 4 18 3.0 4.0
4 韩敬 东华大学理学院 7 34 3.0 5.0
5 丁可 东华大学理学院 10 42 4.0 6.0
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研究主题发展历程
节点文献
空心阴极放电
数值模拟
粒子模拟
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
江西科学
双月刊
1001-3679
36-1093/N
大16开
1983-01-01
chi
出版文献量(篇)
4032
总下载数(次)
0
总被引数(次)
17843
论文1v1指导