双层TiOxNy光谱选择性吸收薄膜特性的研究

• 作者: 巴德纯 沈辉 王志坚 王贺权 闻立时 陈达
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: 直流反应磁控溅射 TiOxNy 选择性吸收薄膜 反射率
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 450-453
• 页数: 4页
• 分类号: O614.41+1
• 字数: 1745字
• 语种: 中文

摘要

应用直流反应磁控溅射设备在铜基底上制备双层TiOxNy选择性吸收薄膜.当第一层薄膜的制备参数不变时,研究了第二层薄膜中N2流量参数对双层薄膜反射率的影响.结果表明,当第二层薄膜氧氮比为1:1时具有较好的光谱选择吸收特性,并测试了该样品的太阳吸收率和发射率分别as=0.920、ε=0.03.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯		250	1491	18.0	22.0
2	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
3	沈辉		121	1808	24.0	37.0
4	王志坚		40	295	9.0	16.0
5	王贺权		14	52	3.0	7.0
9	陈达		2	14	2.0	2.0