碲锌镉晶片的机械化学磨抛分析

• 作者: 张梅 黄晖
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碲锌镉 磨抛 粗糙度 平整度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 111-113
• 页数: 3页
• 分类号: TN213
• 字数: 2408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2008.02.013

摘要

对<111>方向的三块碲锌镉晶片进行了不同的机械磨抛、化学机械抛光、化学抛光,在相同的测量条件下用三维形貌干涉仪进行表面监测.比较了碲锌镉晶片不同的磨抛方法对碲锌镉晶片表面机械损伤的情况,开展了碲锌镉晶片不同的磨抛方法对损伤的去除程度的对比实验,进行了碲锌镉晶片表面粗糙度及平整度实现的研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄晖		18	107	6.0	9.0
2	张梅		4	28	2.0	4.0