负热膨胀ZrW2O8薄膜的制备和性能

• 作者: 付廷波 刘红飞 张志萍 程晓农
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 钨酸锆 薄膜 磁控溅射 负热膨胀
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 83-86
• 页数: 4页
• 分类号: O484|TB383
• 字数: 1929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3093.2008.01.015

摘要

用交替射频磁控溅射法在石英基片上沉积并退火制备了ZrW2O8薄膜,测量了薄膜与基片之间的结合力和薄膜厚度,研究了薄膜的负热膨胀特性.结果表明:用磁控溅射方法制备的薄膜为非晶态,表面平滑、呈颗粒状,在1200℃热处理3 min后得到立方相ZrW2O8薄膜,结晶薄膜的颗粒长大,薄膜与基片之间有良好的结合力.立方相ZrW2O8薄膜在15-200℃热膨胀系数为-24.81×10-6K-1,200-700℃热膨胀系数为-4.78×10-6K-1,平均热膨胀系数为-10.08×10-6K-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程晓农	江苏大学材料科学与工程学院	344	2629	24.0	32.0
2	付廷波	江苏大学材料科学与工程学院	7	100	4.0	7.0
3	刘红飞	江苏大学材料科学与工程学院	20	152	7.0	11.0
4	张志萍	江苏大学材料科学与工程学院	17	105	6.0	9.0