基于半导体光刻技术的自动调焦

• 作者: 李其德 杨永跃 王彭
• 来源期刊: 现代显示
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻技术 图像处理 自动调焦
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TP317.4
• 字数: 1409字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-6268.2008.05.007

摘要

提出了基于图像处理的半导体光刻技术自动调焦的方法,利用图象处理算法实现半导体光刻技术的自动调焦.实验结果表明,这种方法可以实现高精度(200nm)和良好的重复性(400nm)的调焦.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨永跃	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	52	644	16.0	24.0
2	王彭	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	0	0.0	0.0
3	李其德	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	9	1.0	2.0