采用正交实验优化单晶硅太阳电池表面织构化工艺

• 作者: 李军勇 梁宗存 江得福 沈辉 赵汝强
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 单晶硅 表面织构化 正交实验 各向异性
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 可持续能源材料
• 页码范围: 441-446
• 页数: 6页
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2008.04.051

摘要

采用正交实验的方法对碱各向异性腐蚀制备单晶硅绒面进行了优化,制备的硅片样品绒面反射率为11.07%,在表面沉积减反射膜(ARC)后的平均反射率为2.56%.制绒液中NaOH的质量分数为1～3%时,制备的单晶硅绒面反射率较低.Na2SiO3的存在为反应提供了更多的起始点,所制作的绒面排列更为紧密,但Na2SiO3的浓度过高会阻碍反应进行,得不到理想的绒面.IPA可以加速反应产生的氢气泡从硅片表面逃逸,减弱NaOH的腐蚀强度,获得良好的各向异性因子.随着制绒反应时间延长,硅片表面的金字塔长大,反射率降低,这个过程是"金字塔"不断长大和被削平的过程.常温下难以制得绒面,要在减少醇挥发的情况下尽量提高反应温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈辉	中山大学太阳能系统研究所	121	1808	24.0	37.0
2	李军勇	中山大学太阳能系统研究所	6	91	6.0	6.0
3	梁宗存	中山大学太阳能系统研究所	15	71	4.0	8.0
4	赵汝强	中山大学太阳能系统研究所	3	18	2.0	3.0
5	江得福	中山大学太阳能系统研究所	1	12	1.0	1.0