集成化离子敏场效应传感器的研究进展

• 作者: 杨昌勇 王春华 赵岩 黄岩
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子敏场效应晶体管 传感器 敏感膜 集成化 读出电路
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 专家论坛
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: TN386|TP212.2|TN4
• 字数: 3037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.02.001

摘要

在介绍离子敏场效应晶体管(ISFET)传感器的应用和基本工作原理的基础上,阐述了集成化ISFET传感器的研究现状,包括ISFET敏感膜及其制造工艺与CMOS兼容性研究、集成化读出电路、多传感器集成等方面.展望了ISFET传感器的研究趋势,认为在以下方面值得探索和研究:敏感膜是把化学变量转换为电学变量的关键;高性能读出电路的研究;集ISFET、读出电路及后端信号处理电路于一体的低功耗ISFET传感器的系统集成;多功能、智能化的多传感器集成;研究集微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源等于一体的微机电系统(MEMS);ISFET微传感系统的数字化集成等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王春华	湖南大学计算机与通信学院	67	404	12.0	16.0
2	赵岩	湖南大学计算机与通信学院	4	10	2.0	3.0
3	杨昌勇	湖南大学计算机与通信学院	2	7	2.0	2.0
4	黄岩	湖南大学计算机与通信学院	2	5	1.0	2.0