脉冲激光沉积AZO薄膜及其光学性质研究

• 作者: 江超 王又青
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 AZO薄膜 交特打靶 XRD
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 激光系统与应用
• 页码范围: 79-80
• 页数: 2页
• 分类号: TN249
• 字数: 2948字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2008.05.034

摘要

给出了在氧气气氛中利用单束脉冲激光交替作用锌靶和铝靶进行掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜的脉冲激光沉积(PLD)新方法,分析了该方法的特点与优点,并与利用ZnO陶瓷掺杂靶制备AZO薄膜的疗法进行了对比.利用该方法分别在玻璃片和硅片上制备了AZO薄膜,用SEM观察了薄膜的表面型貌,用X射线衍射谱(XRD)研究厂薄膜的结构,最后通过透射光谱分析了制备的透明导电膜在可见光区的透射性能.交验结果表明:利用该方法能够制备出性能优越的AZO功能薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江超	湖北师范学院生化分析湖北省重点实验室	32	253	9.0	14.0
5	王又青	华中科技大学光电子科学与工程学院	57	521	12.0	20.0