PECVD制备Al-Al2O3复合阻氢涂层的研究

• 作者: 张鹏程 银陈 陈长安
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: PECVD 复合薄膜 阻氘因子 Al-Al2O3
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 41-43,48
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.45
• 字数: 2111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2008.03.016

摘要

为了提高不锈钢的阻氢性能,利用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)技术在不锈钢表面上制备了Al薄膜,经真空热氧化处理(480℃)获得了Al-Al2O3复合薄膜.用表面分析手段SEM、 XRD、 EDS和XPS对所制备涂层的表面形貌、相结构、表面成分、表面元素的化学态进行了分析,并对其进行了阻氘性能研究.结果表明:该技术能够获得均匀、致密复合薄膜;在低于350℃时,阻氘效果非常好,几乎没有渗透,在350℃到450℃之间,阻氘因子能够达到250左右,但在高于450℃后,渗透非常明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏程		35	135	7.0	8.0
2	陈长安		16	55	5.0	6.0
3	银陈		6	12	2.0	3.0